特邀报告薄膜多层陶瓷基板中的金属层与绝缘层
编号:487 访问权限:仅限参会人 更新:2025-04-26 21:49:29 浏览:350次

2025-05-11 11:10

20min

[B1] 薄膜科技论坛一 [B11] 上午场

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摘要
薄膜多层陶瓷基板应用于高精度线条的场合,它是在抛光的衬底上利用有机或无机的薄膜材料作为绝缘介质层,在介质层上沉积导电金属膜,这样的绝缘介质层和导电金属层间隔布置就得到薄膜多层布线基板。本报告厚膜基板、共烧基板以及薄膜基板进行了介绍,重点介绍了薄膜多层基板的特点和应用场景,以及金属/介质界面的设计和实现方法。
关键词
薄膜;陶瓷基板;绝缘层
报告人
杜 军
启元实验室

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