口头报告先进表面力学测试技术在微纳米尺度材料领域中的应用
编号:189
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更新:2024-04-11 15:06:29 浏览:136次
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摘要
主要介绍先进表面力学测试技术在微纳米尺度材料领域的相关应用。 包括仪器化微纳米压痕技术测量薄膜或微区的压入硬度 (HIT)、 弹性模量(EIT) 、屈服强度、断裂韧性和蠕变弛豫特性等;划痕试验确定膜层机械失效模式和获得膜层与基底的临界结合力;原子力显微镜(AFM)获得材料表面微纳米尺度3D形貌、粗糙度等表面信息。
关键词
表面力学, 仪器化压痕, 划痕试验,原子力显微镜,微纳米尺度
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