logo

讲座

研讨会/课程

会议

口头报告铜靶晶粒度对溅射后表面形貌和靶电压的影响研究
编号：83 访问权限：仅限参会人 更新：2021-04-23 13:40:50 浏览：106次

2021-05-16 11:05

15min

[H] 分会场七 [H1] 分会场七上午

暂无文件

摘要
研究了铜靶晶粒度对溅射后靶材表面形貌以及溅射过程中靶电压的影响。结果表明，晶粒度不同会严重影响铜靶溅射后的表面形貌，各晶粒度度铜靶溅射后都有凸起和凹坑相连的表面，但晶粒度较低铜靶有大量的大晶粒团聚；溅射主要由晶界向晶内扩展，较小晶粒形成凸起和凹坑相连的形貌，较大的晶粒团聚则形成较为平直的表面；晶粒度不同的铜靶在相同工艺参数下的靶电压也不同，在溅射前期靶电压较大，这主要与靶原始表面的加工形貌有关，粗糙的表面实际的二次电子产额低，导致在固定电流模式下为维持固定电流而提高靶电压，随着溅射进行，加工表面迅速被溅射而为靶材固有的溅射表面所取代，晶粒度越大的铜靶靶电压越大。
 
关键词
靶材；晶粒度；表面形貌；靶电压
报告人
王 帅康
宁波工程学院

发表评论
验证码 看不清楚，更换一张
全部评论
活动信息
第十三届全国青年表面工程学术会议

2021年05月14日~16日 中国 · 扬州市

同活动下报告

[张贴报告] 不锈钢表面冷喷涂铜涂层的制备与性能研究（表面技术）

[张贴报告] 载气对冷喷涂IN718涂层组织及性能的影响

[口头报告] 基于AFM胶体探针对离子液体纳米摩擦性能的原位研究

[张贴报告] 氧化钒相变薄膜的制备及中红外光学性能调控研究

[口头报告] 新型纳米结构热防护涂层材料技术

[张贴报告] 低粘度润滑油对燃油发动机关键摩擦副表面涂层润滑性能的影响

[张贴报告] 碳化硼薄膜在高湿度环境下的摩擦学性能与润滑机理研究

[特邀报告] 应力腐蚀微观机理与应用研究

[口头报告] 表面纳米化预处理辅助的金属材料低温化学热处理技术研究

[口头报告] 三维划痕技术在涂层测试上的典型应用

查看该活动下更多报告

表面工程在线是由中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司组建的一个面向我国表面工程行业的服务性平台，平台得到了中国机械工程学会表面工程分会、中国机械工程学会摩擦学分会、中国腐蚀与防护学会以及国内众多科研院所和高校等组织机构的大力支持。平台有能力整合多方资源，愿为我国表面工程行业的蓬勃发展贡献力量！