传统的Cr/DLC涂层体系因其内应力大,结合强度差以及承载能力弱等关键问题,导致其优异的耐磨耐腐性能不能充分应用。本研究采用非平衡磁控溅射离子镀技术,在316不锈钢基底上制备了具有不同厚度的CrN过渡层的Cr/CrN/DLC涂层(Cr/DLC、Cr/CrN-0.5h/DLC、Cr/CrN-1.0h/DLC、Cr/CrN-1.5h/DLC)用于提高DLC涂层的机械和耐腐蚀性能。并利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、划痕测试仪、洛氏压痕仪、纳米压痕测试仪、微维氏硬度计、电化学工作站和摩擦磨损测试仪等系统地研究了不同厚度的CrN过渡层的Cr/CrN/DLC薄膜的形貌、物相结构、结合强度、硬度、耐磨和耐腐蚀性能。结果表明,引入适当厚度的CrN过渡层可以有效的提高DLC涂层的机械性能和耐腐蚀性能,但是过厚的CrN过渡层的顶层区域存在粗大的柱状晶结构,加速涂层在外力作用下的裂纹扩展以及为电化学腐蚀提供更加便捷的通道。
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