图书馆-报告库-中国机械工程学会表面工程分会

特邀报告化学气相沉积金刚石薄膜及其电化学应用

编号：53 访问权限：仅限参会人更新：2024-04-24 13:19:04 浏览：86次收藏取消收藏

2024-05-12 08:20

20min

[M] 论坛12：高技术装备表面工程A [M-1] 论坛12A上午

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摘要

摘要硼掺杂金刚石（BDD）薄膜电极是电化学氧化技术领域的理想电极材料。金刚石特殊的sp3杂化碳-碳共价键结构及其硼掺杂后具有的导电性，赋予了其优异的电化学特性（如最高的析氧电位、最宽的电化学窗口、优异的耐腐蚀性及抗污染性等特点）。目前，热丝化学气相沉积技术是规模化、低成本制备BDD电极的关键技术，而BDD电极的电化学性能与HFCVD制备工艺密切相关，可通过调节沉积气氛、温度、气压、时间等工艺来调控其硼原子掺杂浓度、晶面取向、sp³/sp²相比例等。本报告将介绍BDD电极材料大面积制备的技术瓶颈与解决方案，BDD电极电化学氧化降解高危废水的应用现状，以及应用于PCB微蚀液废水处理的电化学资源再生与回收系统。
关键词：掺硼金刚石；电化学；化学气相沉积