第十四届全国表面工程大会

218 / 2022-09-21 00:08:08

sp2纳晶促进转移膜形成的原位透射电镜研究

sp2纳晶,转移膜,纳米结构,原位透射电镜

为响应国家“碳达峰&碳中和”的号召，滑动界面的超低摩擦和超润滑研究必不可少，这也意味着产生更少的粘附和摩擦。而无环境条件和其他物理场的作用时，纳米结构对转移膜形成的影响及其在滑动过程中的作用还尚不清楚。因此本文研究了原位透射电镜下不同纳米结构对转移膜形成的影响。结果表明，sp²纳晶能够促进转移膜的形成，降低摩擦系数并稳定滑动过程。因为sp²纳晶在压应力和剪应力下躺倒，平行于滑动方向并发生剪切。对于不同纳米结构的单晶硅和非晶碳，单晶硅在滑动过程很难形成层状结构，而非晶碳则需要更高的应力和更长的滑动距离来形成转移膜。本研究为实现小尺度低粘附低摩擦提供了新的理论依据，对于促进sp²纳晶结构在微纳器件中的应用具有重要意义。