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单晶硅纳米力学及纳米塑性
单晶硅,纳米压痕,纳米力学,纳米塑性
全文待审
孙甲鹏 / 河海大学
硅是大规模集成电路、半导体工业、微纳机电系统等现代工业的基础材料。理解单晶硅的纳米力学行为和变形机理对优化硅片及硅基微纳米机电系统的制造、提高硅基器件的可靠性基寿命具有重要的意义。本报告主要介绍近年来团队在纳米塑性变形机理方法工作进展,重要涉及单晶硅的纳米力学行为、高压相变机制和位错机制、纳米塑性的尺寸依赖性等。
重要日期
  • 会议日期

    11-13

    2020

    11-16

    2020

  • 10-31 2020

    EARLY_BIRD_REGISTRATION

  • 11-05 2020

    初稿截稿日期

  • 11-16 2020

    注册截止日期

主办单位

中国机械工程学会表面工程分会

承办单位

广东省新材料研究所
北京大学深圳研究生院
现代材料表面工程技术国家工程实验室

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