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氮化钛单晶薄膜的外延生长及物性调控研究

氮化物,单晶,磁控溅射

3、物理气相沉积和化学气相沉积薄膜技术

过渡金属氮化物（如氮化钛，TiN）是一类广泛应用于表面工程的功能涂层材料，然而其相关研究多聚焦于多晶薄膜。受限于薄膜制备方法的限制，过渡金属氮化物单晶薄膜的研究还相对缺乏，严重阻碍了对其本征物理化学性质的理解。针对上述问题与挑战，在本报告中我们介绍了近期发展的磁控溅射外延方法，以TiN为例，生长了一系列过渡金属氮化物单晶薄膜，并揭示了单晶薄膜中氧化、腐蚀、力学及超导性质对晶向的依赖性。