592 / 2023-04-12 14:30:45
贵金属掺杂氮化物涂层的微结构演化机理及纳米力学与热稳定性研究
贵金属掺杂,磁控溅射,氮化物涂层,热稳定性,力学性能,微观结构
2、薄膜科技论坛;
摘要录用
张 玮伦 / 辽宁科技大学
解 志文 / 辽宁科技大学
        为提高氮化物涂层在玻璃模压过程中的使用寿命,本研究创新提出了贵金属掺杂氮化物涂层制备方法。通过研究发现,贵金属具有突出表面修饰效应,涂层粗糙度可低至1nm。同时贵金属掺杂削弱了涂层的结合强度,使涂层表现出较低的机械性能。此外,贵金属赋予涂层极佳的抗氧化性,使涂层在玻璃成型测试中表现出更好的抗氧化性和更稳定的表面质量。