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弧光/辉光放电等离子体辅助渗/镀表面技术的交叉研究

等离子体渗氮,等离子体渗碳,离子镀膜

5、化学表面热处理、三束（激光束、电子束、等离子体）材料表面改性技术

离子镀膜技术和等离子体渗氮/碳技术均是采用等离子体能量进行表面改性的技术，涉及真空物理、等离子体物理等理论知识，理论背景和工艺参数方面都存在着诸多交叉点。我们利用辉光放电等离子体渗氮/碳技术制备了类石墨碳（GLC）膜，获得一种低成本制备大面积自润滑碳膜的方法，并且可以实现渗碳/氮层+GLC膜复合层的连续制备，有利于工业化生产。同时，我们利用多弧离子镀设备实现了快速等离子体渗氮，高能量的氮离子可以降低等离子体渗氮/碳温度或缩短处理时间，适合不锈钢等具有特殊热处理要求的材料。同时，我们也可以实现模具钢等材料表面渗氮+镀膜（多元氮/碳化物碳硬质膜）的连续制备。因此，离子镀膜技术（沉积技术）和等离子体渗氮/碳技术（热处理技术）逐渐走向融合是未来的发展趋势。