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Nb含量对AlCrNbSiN涂层韧性及其抗冲蚀性能的影响

AlCrNbSiN；增强增韧；韧性；冲蚀

13、Poster

通过PVD方法制备了AlCrNbSiN涂层，采用SEM、TEM观察其微观结构并测定成分，采用XRD对涂层进行物相分析，利用纳米压痕仪对涂层硬度、弹性模量进行了表征，利用纳米划痕仪对膜-基结合力进行了测试，通过维氏压痕法对涂层韧性进行了表征，使用热重分析仪对涂层的高温抗氧化性能进行了测试，通过球-盘摩擦的方法对涂层的摩擦学性能进行了测试。随着Nb含量的增加，涂层的纳米硬度呈现先上升后降低的趋势；涂层的韧性KIC值逐渐上升，表明在AlCrSiN中掺Nb可以改善涂层的韧性；常温摩擦实验下，随着Nb含量的增加，涂层磨痕边缘的微裂纹逐渐减少直至消失；高温(800 ℃)摩擦下，含Nb涂层较AlCrSiN涂层耐磨性提升显著，AlCrSiN涂层被磨穿，含Nb涂层均未磨穿。